1982年，科学院109厂的KhA-75-1光刻机，这些光刻机在当时的水平均不低，最保守估计跟当时最先进的canon相比最多也就不到4年，当然，也是没有量产过。
1985年，机电部45所研制出了分步光刻机样机，通过电子部技术鉴定，认为达到美国4800dSw的水平。这应当是中国第一台分步投影式光刻机，中国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。但是很可惜，光刻机研发至此为止，中国开始大规模引进外资，有了\\\造不如买”的思想。光刻技术和产业化，停滞不前。放弃电子工业的自主攻关，诸如光刻机等科技计划直接被取消了。
九十年代以来，光刻光源已被卡在193纳米无法进步长达十几年，这个技术非常关键，这直接导致ASmL和台积电在线如此强势的关键，也是岛国尼康的光刻机消败的关键时期。
直接最近几年， 光刻机研发重新被我们重视起来，可以说我们现在做这个东西，难度不亚于生产大飞机，影响力不低于当初研究原子弹。
前几年刚刚成立的SmEE沪市微电子装备有限公司承担了“十五”光刻机攻关项目，中电科45所把此前从事分步投影光刻机的团队迁到了沪市，参与这个项目。”
说完看了眼皱眉不语的张市韩主任几人后又道“而我们的团队只有六个教授主导，虽然这六位教授在数控和光学项目上有所建树。可要跟沪市的团队相比，实力有着天壤之别的差距。而我们的光刻机停滞不前的这二十年里正是荷兰ASmL公司进入光刻机领域的时间，研发团队全是世界上顶尖的半导体科技专业人才，生产一个光刻机光零件就需要几万个甚至十几万个，有些重要的零件早就被这些厂家申请了专利，想要使用他们的这些零件就必须向他们购买，这是我从开始研发就明令禁止的。”
韩主任看到张市脸色微变，急忙打断叶小刚的话笑道“叶老板不是也想研发二十年吧。时间也太长了吧。”
叶小刚摇头笑道“当然不用二十年，现在我们有个优势就是可以站在国外先进技术上开始研发。不过明年肯定是不可能研发成功的。”看了看张市皱眉思考模样笑笑道“五十亿的研发资金肯定不够，不过领导请放心，我会继续追加投入，我们国兴机床做事的宗旨就是要么不做，要做就做最好的。现在资金我们国兴机床不缺，缺的是人才，广州工业大学的研究生能不能给我们弄几批过来。”
张市思索许久后抬头看着叶小刚问道“照你这么说，光刻机如果明年研发不出来，研发资金消耗完后你会继续追加投入？”
叶小刚点头笑道“当然，研发资金我会继续投入，哪怕每年五十亿都不是问题，但我不要使用国外技术零件的组装品。要做就要做我们自己研发出来的产品。”
张市双眼凝视着叶小刚看了足足两三分钟后看向韩主任点头道“叶老板要人才，下周去找下工业大学陈校。”